Sela納米裂片系統(tǒng) MC600i

? 概況

SELA的MC600i 自動(dòng)納米裂片系統(tǒng)可以自動(dòng)、快速的獲得高質(zhì)量的樣品截面，它具備在幾分鐘內(nèi)完成單個(gè)樣品的裂解（包括切割樣品的兩側(cè)），裂解效果可以達(dá)到亞微米的精度，截面的質(zhì)量也極高且無須專業(yè)人士的全程指導(dǎo)，系統(tǒng)所配備的算法可以實(shí)現(xiàn)裂解過程中的全自動(dòng)映射和規(guī)劃。

MC600i系統(tǒng)可用于制備高質(zhì)量截面樣品，以供后續(xù)掃描電子顯微鏡（SEM）的檢測

本系統(tǒng)通過刻痕和斷裂的雙重過程制備樣品且獲得高質(zhì)量截面。斷口延晶片的一個(gè)或兩個(gè)正交劈裂矢量傳播。標(biāo)準(zhǔn)的制備過程包括兩個(gè)主要階段

• 通過一個(gè)兩級精密微裂解的設(shè)備來制備已經(jīng)預(yù)設(shè)定寬度并已做好裂解位置標(biāo)記點(diǎn)的晶片段；

• 通過精密的納米裂解設(shè)備來制備已經(jīng)做好裂解位置標(biāo)記點(diǎn)的截面樣品。

精確的微裂解設(shè)備是圍繞物理裂解晶片段的概念來設(shè)計(jì)生產(chǎn)的。

高精度的納米裂解設(shè)備包括首先在預(yù)定的邊緣位置以高精度的要求來刻劃晶片段，然后根據(jù)這個(gè)邊緣位置引導(dǎo)機(jī)械進(jìn)行沖擊，使得裂紋通過刻劃過的位置沿晶體的正交向量裂開并精準(zhǔn)的通過裂解位置標(biāo)記點(diǎn)。從而完成晶片段的完整裂解。